石墨電極導電性不適合做半導體材料：石墨電極有機質含量較高，同時也有多種的碳化物晶體形態；半導體器件材料需要復雜的多電極結構，才能具有良好的導電性和化學穩定性；由于石墨電極含有多種雜質元素，對導電性影響較大；導電性能是二維材料的基本性能，各個方向的導電性差異很大，尤其是摻雜的金屬耗盡層在導電性和壽命上有較大差別，導電性能的好壞與摻雜金屬顆粒的大小和顆粒上集流體的疏密有很大關系。

難說，你可以看看中科院的一個工作，對225號碳基陽極材料進行染色，對半導體電極和石墨氧化物接觸起到了很大影響，原理大概就是通過高電流密度給陽極氧化物破壞性電子加速，，染色后陽極氧化物接觸半導體，通過被破壞掉的電子壓向半導體，從而達到截面積縮小的作用，，此電子壓迫的半導體很容易在電極材料表面存在金屬蒙板。另外跟石墨硫化物的接觸也有很大的作用，相當于相互吸附，，縮小兩端接觸面積。

外延途徑分的比較細，我不清楚你是想外延哪方面，是原料導入過程，過程要求高，不僅有良好的導電性還要導電性差，這樣整個外延系統好，等等。估計你的意思是對外延導電性差。石墨電極目前性能最好的大概是14nm工藝，主要在電子器件，半導體器件的石墨導電性并不好。